鈦靶材
元素符號：Ti
密度：4.51
純度：99.99%-99.999%
產品詳情
鈦是超大規(guī)模集成電路芯片中常用的阻隔膜材料之一（對應的導電層材料為鋁）。鈦靶材將在芯片前制造過程中與鈦環(huán)一起使用。主要功能是輔助鈦靶材的濺射工藝，主要應用于超大規(guī)模集成電路芯片制造領域。
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