鋁銅靶材
鋁銅合金以銅為主要合金元素的鋁合金，它包括Al-Cu-Mg合金、AI
-Cu-Mg-Fe-Ni合金和Al-Cu-Mn合金等，屬熱處理可強(qiáng)化合金。
合金特點(diǎn)是強(qiáng)度高，通常稱為硬鋁合金，其耐熱性能和加工性能良
好，但耐蝕性不如大多數(shù)其他鋁合金好，在一定條件下會(huì)產(chǎn)生晶間
腐蝕，因此板材往往需要包覆一層純鋁或6系列鋁合金，提高抗腐
蝕性。其中A1-Cu-Mg-Fe-Ni合金有極為復(fù)雜的化學(xué)組成和相構(gòu)成。
它在溫度下有高的強(qiáng)度，并具有良好的工藝性能，主要用于150一
250攝氏度以下工作的耐熱零件;
在集成電路的生產(chǎn)中，硅擴(kuò)散到鋁互連層中的現(xiàn)象很普遍。如果將飽和濃度的硅添加到鋁中以形成鋁硅合金，則可以有效地改善該問題。因此，我們還生產(chǎn)用于IC應(yīng)用的鋁硅AlSi濺射靶和鋁硅銅AlSiCu濺射靶?？捎贸煞郑篈lCu99.5 / 0.5wt％，AlCu99 / 1wt％，AlCu98 / 2wt％，AlCu95 / 5wt％
鋁銅合金濺射靶的生產(chǎn)工藝
材料-熔融-分析-鍛造-軋制-退火-顯微照片-機(jī)加工-測量-清潔-檢查-包裝
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